pdms芯片模具-顶旭微控

pdms是制作微流控芯片的主要材料，pdms芯片制作的主要方式为模塑法，模塑法要求有---的塑性成型模具，以采用机械加工方式制备的亚克力和金属模具，在制备大深宽比流道具有很大的优势，强度较硅模具和su8模具强，可多次反复重新使用，同时具有较高性jia比gao。

亚克力模具以制备pdms芯片的简易性和经济性而---，通过数控精雕机可高度jing确地制备，其表---有一定疏水性，有助于pdms材料的轻松脱模，适用于制备流道宽度大于0.1毫米以上、误差控制在±20微米左右的微通道结构，是一种在精度要求适中的应用中具备成本效益和gao效制备的理想选择。

su8加工平台

su8模具制备方法

1）基底准备

su8模具，通常采用硅衬底，即使晶片是新的，也必须在接收 su-8 光刻胶之前准备好。如果在无尘室，可以使用溶液（h2so4+h2o2）清洗，在无尘室外可以用bing酮。在任何情况下，您都必须加热衬底以去除表面上的所有水分。我们建议在 120°c 的烤箱中加热 15 分钟。这个加热步骤非常重要，因为它可以让 su-8 ---地粘附在基材上。