3. su8模具制备流程
一、备片
从化学品存放区取出清洁的硅片（---硅片表面无尘）。
匀胶
1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，---硅片固定在托盘上不动；
将su8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：su8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）
匀胶机
调速范围和时间：
i档：50~10000转/分，时间0~999s
ii档：50~10000转/分，su8光刻机，时间0~999s
适用：直径5~100mm硅片及其他材料匀胶
转速稳定性：±1％
胶的均匀性：±2％
电极功率：40w，单相110~240v
真空泵抽气速率：＞60l/min
热板
温度：0~300℃
温度稳定性：±1℃
功率：850w
台面大小：200x200mm
数显测厚规（千分款）
测量匀胶厚度
量程:0~10mm
精度：0.001mm
公差：≤±0.005mm
观察头：铰链式三目观察头，30°倾斜，瞳距48～75mm
目镜：---视野目镜 10x/22
无xian远平场消色差物镜：4x/0.1，10x/0.25，20x/0.4，40x/0.65
转化器：四孔转换器
载物台：载物台面积300×268mm，移动范围250×250mm
焦距调节：同轴粗微动调焦机构，行程24mm
照明系统 ：6v20w卤素灯，亮度可调
滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
山东su8光刻机-顶旭由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。顶旭（苏州）微控技术有限公司是从事“微流控芯片定制，微流控芯片加工设备，微流控仪器，表面修饰”的企业，公司秉承“诚信经营，用心服务”的理念，为您提供---的产品和服务。欢迎来电咨询！联系人：周经理。
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息，谢谢！
本文链接：https://tztz352454.zhaoshang100.com/zhaoshang/280178967.html
关键词：
滇公网安备 53011202000392号