顶旭-宁夏回族自治微流控光刻机

注射泵具有以下特点：

1.---控制：步进电机可以非常精que地控制旋转角度和速度，从而实现---的流量和流速控制。

2.可编程控制：控制器可以通过编程方式设置电机旋转的脉冲数和频率，从而实现不同的流量和流速控制模式。

3.安quan---：步进电机驱动的注射泵通常具有多种安全保护措施，微流控光刻机，如过载保护、限位保护等，---设备的安quan---运行。

4.易于操作：步进电机驱动的注射泵通常具有友好的用户界面和操作系统，操作简单、方便。

5.应用范围广：步进电机驱动的注射泵适用于各种需要精que流量和流速控制的实验、生产和检测场合，如微流控技术、生物技术、化学实验等。

需要注意的是，步进电机驱动的注射泵相比于传统注射泵，价格较高，但是在需要---流量控制的应用场合中，其精度和可编程性优势---，得到了广泛的应用和---。

4．耗材4.1 硅片硅片没有特殊要求，单面抛光即可。制备su8模具时在硅片抛光旋涂光刻胶。4.2 光刻掩膜板光刻掩膜版（又称光罩，英文为mask reticle），简称掩膜版，是制备su8模具光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成微结构掩膜图形，通过---过程将微结构图形信息转移到su8光刻胶涂层上，实现微结构的jing确fu制。光刻掩膜版，一般可分为菲林掩膜版和玻璃掩膜版两种。

菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构，通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单，适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而，由于其分辨率有限，无法满足制备细致微结构的需求。因此，对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构，菲林掩膜板是一个合适的选择。

玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构，以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺复杂，但由于其高分辨率，能够实现更细致、更jing确的微结构。---是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下，玻璃掩膜板具有明显优势。