微流控光刻机-顶旭(商家)_苏州生物制品

顶旭（苏州）微控技术有限公司提供微流控光刻机-顶旭(商家)。

三、前烘

1）将涂布好su8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

四、---

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行---，---时间和强度根据su-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置---能量25mw/cm2，时间12s）

五、后烘

将---后的硅片放置在热板上，进行后---烘烤，以---光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，微流控光刻机，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未---部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

七、清洗

将显---的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

八、检查

使用显微镜检查制备的su-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和。

注射泵产品

1 注射泵 dlsp 520 pro

2 注射泵lsp02-2b

技术指标lsp02-2b

工作方式：注射、拍取、先注射后胜取、无拍取后注射、连续

通道数量： 2

zui大行程：140mm

行程分辨率： 0.156um

线速度范围：5um/min-130mm/min (液量=线速度x注*器内截面积]

线速度调节分辨率： 5um/min

行程控制精度：误差e士0.5%行程注zui大行程的30%时>

额定线性推力>;180n

注*器选择：内置主要厂家、主要型号注she器供选择

注*器自定文：可直接输入注she器内径

流量校正：通过校正程序获得更为jing确的液量

显示参数选择：液量、流量或线速度

掉电记忆：重新上电后保持掉电前的参数设置

通信接口： rs495

外形尺寸：280x250x140(mm)

适用电源：ac 196v-240v/40w

工作环境温度： 0°c~40°c

工作环境相对湿魔<80%

数显测厚规（千分款）

测量匀胶厚度

量程:0~10mm

精度：0.001mm

公差：≤±0.005mm

显微镜

观察头：铰链式三目观察头，30°倾斜，瞳距48～75mm

目镜：---视野目镜 10x/22

无xian远平场消色差物镜：4x/0.1，10x/0.25，20x/0.4，40x/0.65

转化器：四孔转换器

载物台：载物台面积300×268mm，移动范围250×250mm

焦距调节：同轴粗微动调焦机构，行程24mm

照明系统：6v20w卤素灯，亮度可调

滤色镜蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片

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