显影机-顶旭

使用方法

该设备操作简单，易于上手，具体操作如下：

一、---前准备工作

1、硅片处理：---待---硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查：仔细检查设备，---所有部件处于正常工作状态，---操作环境---。

二、---操作步骤

1、安装硅片：将待---硅片平放在设备的载台上，---位置准确。

2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定---参数：使用控制面板设置---时间和强度，根据具体需求进行调整。

三、前烘

1）将涂布好su8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

四、---

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行---，显影机，---时间和强度根据su-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置---能量25mw/cm2，时间12s）

五、后烘

将---后的硅片放置在热板上，进行后---烘烤，以---光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未---部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

七、清洗

将显---的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

八、检查

使用显微镜检查制备的su-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和。