4.3 光刻胶su-8是一种常用的负性光刻胶，通常由环氧树脂和光敏剂组成，它具有许多优点，使其在制备微结构和器件方面成为理想的选择：高分辨率：su-8光刻胶具有---的分辨率，可以制备细致的微结构，适合制作小尺寸线条和微细图案。粘附性强：su-8光刻胶在许多基片表---有---的粘附性，可以在不同材料上制备微结构。厚度可调：su-8光刻胶可以通过多次涂覆和光刻来控制厚度，su8模具加工设备，适用于制备不同厚度的微结构。化学稳定性：su-8光刻胶具有较高的化学稳定性，可以耐受许多溶剂和化学物质，适用于各种应用环境。热稳定性：su-8光刻胶在高温下具有较好的稳定性，适用于需要高温处理的制备过程。多层光刻：su-8光刻胶可用于多层光刻制备，能够实现更复杂的微结构和器件。应用广泛：su-8光刻胶在微流体器件、生物芯片、mems、光学器件等多个领域中得到广泛应用。
su8光刻机的价格因型号、配置和供应商而异。一般来说，价格在几千到几十万美元之间。一些的su8光刻机价格可能超过百万美元。需要注意的是，光刻机的价格不仅仅是机器本身的成本，还包括安装、调试、培训和维护等费用。此外，光刻机的价格还会受到汇率、关税和市场需求等因素的影响。因此，如果您需要了解具体的su8光刻机价格，建议您联系相关的供应商或销售商进行咨询。
su8模具加工平台旨在为su8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用led光源，---分辨率可达2um，---均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，可---光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为su8模具提供充分的烘烤，从而提升su8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，su8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。su8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。
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