桌面光刻机-顶旭

4、启动---：确认参数设定无误后，---启动按钮，设备将开始进行---。

5、监控---过程：在---过程中，您可以通过设备界面监控---进度，---一切顺利进行。

6、---完成：---结束后，设备会发出提示，取出硅片和光刻板。

顶旭微控

顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业，桌面光刻机，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累，持续将zhuan业知识与---思维相结合，为客户提供gao品质的解决方案。我们将始终坚持以客户为中心，不断挑战自我，不断追求zhuo越，通过zhuan业、---和合作，为客户创造的价值，共同开chuang微流控领域的美好未来。

三、前烘

1）将涂布好su8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

四、---

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行---，---时间和强度根据su-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置---能量25mw/cm2，时间12s）

五、后烘

将---后的硅片放置在热板上，进行后---烘烤，以---光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未---部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

七、清洗

将显---的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

八、检查

使用显微镜检查制备的su-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和。