su8模具加工设备-顶旭

技术参数

---光源：紫外led

光源波长：365nm;

---面积：4英寸、6英寸可选；

---方式：单面接触式定时---；

---分辨率：2um；

---强度：20~200mw/cm2可调；

---不均匀性：≤5%；

光源平行性：≤2°；

光源寿命：***20000h；

电源输入：ac220v±10v，50hz

功率：250w

重量：25kg

外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）

工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %

使用方法

该设备操作简单，易于上手，具体操作如下：

一、---前准备工作

1、硅片处理：---待---硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查：仔细检查设备，---所有部件处于正常工作状态，---操作环境---。

二、---操作步骤

1、安装硅片：将待---硅片平放在设备的载台上，---位置准确。

2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定---参数：使用控制面板设置---时间和强度，根据具体需求进行调整。