等离子键合机操作与使用
控制面板按键按钮说明
压力表盘:此处压力表显示的数值为真空度的比值,pdms切割器国产,压力表的实际值大于设定值是显示红色,如果实际值没有达到设定值显示绿色,此时辉光不会开启!调低设定值小于实际值0.2-0.3,pdms切割器,辉光就会开启。
气体流量计:手动慢慢调节旋钮使流量计中的刻度保持平衡,即可在下一次自动清洗过程中不需再做调整,通常流量计范围调节至30%-60%。

pdms浇筑
1)将需要制备芯片的模具放置于在浇筑托盘里;
2)将脱泡后的pdms缓慢浇筑到托盘内,厚度依据需求确认,静止10min;
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等离子体注意事项
1、等离子清洗机的摆放位置要略高真空泵,以免真空泵的微量回油进入清洗机内。
2、请不要使---物体与高压极板相接触,---是金属物体会造成射频高压对地短路而损坏设备。
3、在使用手动控制处理结束后应复原全部电气按钮。如果没有复位自动操作不能正常进行。
4、设备加电后请勿打开机盖,防止高压触电,个别情况烧毁保险管需更换时,请在断电5分钟后进行。
5、在手动控制处理过程中(即加有高压情况下),在工作情况下请勿设定参数。
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