顶旭微控技术有限公司-pdms脱泡器供应商-pdms脱泡器

pdms芯片键合

1）将制备好的pdms芯片用胶带处理表面灰尘；

2）对玻璃基片进行清洗，---表面干净无尘。

3）处理完成的pdms芯片和玻璃放在托盘上，放入等离子体中进行表面处理。pdms芯片如需进行上下层的结构对准，需事先使用对准平台处理进行预对准（但不要贴合），然后将完成的pdms芯片从对准平台上连同托盘一起取出，放入等离子体中进行表面处理。

4）将处理好的pdms芯片和玻璃迅速贴合，放入烘箱，85℃，30min，取出。如是需进行上下层对准的芯片，等离子处理完后，连同托盘在放置在对准平台上面，进行对准，对准后操作z轴向上台式托盘，使上下两层pdms贴合，连同托盘一起取下，放入烘箱，85℃，30min后取出，去除托盘，完成键合。

su8模具

su-8是一种高分辨率的负性光刻胶，拥有卓yue的机械、介电、耐化学性和热性能，以及---的生物相容性。su-8制备的模具具备以下优势：

1、高分辨率和精度：su-8是高分辨率的光刻胶，使用光刻工艺，可以制备复杂且精细的微通道几何形状，从而形成清晰的微流体结构。

2、强韧---：su-8模具具备强韧性和耐久性，能够经受住反复使用、清洗和处理，pdms脱泡器供应商，不会明显退化，pdms脱泡器国产，适合多次浇筑pdms芯片。

su-8模具，pdms脱泡器，使用光刻工艺，可以在su-8模板上制造线条宽度大于2微米，并且实现深宽比在1:1至2:1的结构。此外，借助多层光刻技术，还可以在su-8模具上创建不同高度的微流道结构。

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