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等离子体注意事项

1.当主机与真空泵连接好后，pdms打孔器生产厂家，尽量不要移动位置，以避免真空管路松弛泄漏，pdms打孔器，导致真空度下降，真空管路的轻微泄漏会---延长真空泵的抽取时间。

2.环境温度过高或使用时间过长时，pdms打孔器供应商，温度保护控制可能会切断射频电源，此时应停止处理操作，但不要关断设备电源，因风扇的运转会加速设备的冷却。

3.由于等离子射频电源的特殊性，在接入~220v电源时，一定要按所配接电源线插头的标志正确接入：即所提供的电源与三角插头的接线标志要准确对应（l、n、e），否则会造成设备不能正常工作。

4.感应舱门没有关好，感应不---，导致抽真空出不上去，确认门是否合上。

等离子键合机技术参数

 腔体材质：石英

供电电源：ac220v

工作电流：整机工作电流不大于1.2a（不含真空泵）

射频电源功率：0-200w可调

射频频率：20.0mhz（偏移量小于0.2khz）

特性阻抗：50欧姆，自动匹配 

真 空 度：10pa-30pa

气体路数：双路气体输入

气体流量：10~160ml/min(可调)

过程控制：plc人机界面自动与手动方式

清洗时间：1-6000秒钟可调

功率大小：10%-100%可调

内腔尺寸：直径150mm×270mm

外形尺寸：600mmx500x480mm

重量：45kg

真空泵：抽速4l/s

真空室温度：小于30°c

冷却方式：强制风冷