pdms浇筑器-顶旭微控-pdms浇筑器费用

等离子键合机技术参数

 腔体材质：石英

供电电源：ac220v

工作电流：整机工作电流不大于1.2a（不含真空泵）

射频电源功率：0-200w可调

射频频率：20.0mhz（偏移量小于0.2khz）

特性阻抗：50欧姆，自动匹配 

真 空 度：10pa-30pa

气体路数：双路气体输入

气体流量：10~160ml/min(可调)

过程控制：plc人机界面自动与手动方式

清洗时间：1-6000秒钟可调

功率大小：10%-100%可调

内腔尺寸：直径150mm×270mm

外形尺寸：600mmx500x480mm

重量：45kg

真空泵：抽速4l/s

真空室温度：小于30°c

冷却方式：强制风冷

su8模具

su-8是一种高分辨率的负性光刻胶，拥有卓yue的机械、介电、耐化学性和热性能，以及---的生物相容性。su-8制备的模具具备以下优势：

1、高分辨率和精度：su-8是高分辨率的光刻胶，使用光刻工艺，可以制备复杂且精细的微通道几何形状，从而形成清晰的微流体结构。

2、强韧---：su-8模具具备强韧性和耐久性，能够经受住反复使用、清洗和处理，不会明显退化，适合多次浇筑pdms芯片。

su-8模具，使用光刻工艺，可以在su-8模板上制造线条宽度大于2微米，并且实现深宽比在1:1至2:1的结构。此外，借助多层光刻技术，pdms浇筑器，还可以在su-8模具上创建不同高度的微流道结构。

顶旭（苏州）微控技术有限公司拥有丰富的经验和技术积累，持续将专ye知识与---思维相结合，为客户提供高pin质的解决方案。

我们将始终坚持以客户为中心，不断挑战自我，不断追求卓yue，pdms浇筑器国产，通过专ye、---和合作，为客户创造的价值，共同kai创微流控领域的美好未来