pdms打孔器厂家-pdms打孔器-顶旭微控技术有限公司

pdms键合原理

等离子键合机，用于将聚二甲ji硅氧烷（pdms）与自身或者其他材料（如玻璃、硅片）紧密粘合形成微通道。pdms键合的工作原理是：在真空状态下，空气或者氧气被高频电源发生器激发电离，形成等离子体，pdms打孔器供应商，清除pdms表面的有机物，使其暴漏在高活性的氧自由基和高能氧离子的气氛中，pdms表面的碳氢化合物与其反应，形成硅醇（sioh）基团，增加了pdms表面的亲水性和润湿性。将经过等离子体活化的pdms与另外的pdms或玻璃表面接触，在界面处，硅醇基团与其他表面上的硅醇基团或硅氧化物形成稳定且不可逆的si-o-si共价键，pdms打孔器，形成了密封且耐久的界面，pdms打孔器费用，完成pdms的键合。

操作步骤

第yi步：将待处理的pdms芯片表面处理干净，一片pdms放置在镜面载盘上，另外一片放置在透明玻璃上。

第二步：将镜面载盘放置在下zai物台上，将透明玻璃放置在上载物台上，并用两测压块进行固定，调整位移平台z轴方向，使上下两片pdms间距适当，但不接触。

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