操作步骤:
第yi步:调整显微镜高度,使pdms芯片流道可以清晰成像,调整位移平台,使上下层结构对准,对准完成后,切勿在调整位移平台,位移平台保持对准状态不动。(注意,调整过程中,pdms切割器费用,尽量不要调整z轴,---上下层结构不能接触)
第二步,从上下zai物台先后取下透明玻璃和镜面载盘(注意,不要把pdms从透明玻璃和镜面载盘上取下),放入等离子体,pdms切割器供应商,对芯片就行处理。
pdms分离
打开pdms浇筑器两边搭扣,取下浇筑器上半部分,先整体取出固化后的pdms和模具,在小心分离pdms和模具。
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等离子键合机操作与使用
机器初始安装步骤
1.第yi次开机前,先取出托载盘(专指不锈钢内置仓体机,而对于外置石英玻璃仓体则绝bu允许撤出托载盘),合闭仓门,此时会听到仓门限位开关发出动作声音,此音响表明允许后续的处理操作能正常进行。
2、按下红色按钮开关,开关上指示灯亮;按下触摸屏上的手动开启,真空泵绿色按钮,并轻推舱门(检查能否正常感应)启动真空泵,进入抽真空状态。
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