切割和孔穴制备
1）使用切割器，pdms脱泡器国产，根据需要切割pdms芯片，制备所需尺寸芯片。
2）使用打孔器，在芯片上制作所需的孔穴，pdms脱泡器，用于流体进出口。
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等离子键合机技术参数
腔体材质：石英
供电电源：ac220v
工作电流：整机工作电流不大于1.2a（不含真空泵）
射频电源功率：0-200w可调
射频频率：20.0mhz（偏移量小于0.2khz）
特性阻抗：50欧姆，自动匹配
真 空 度：10pa-30pa
气体路数：双路气体输入
气体流量：10~160ml/min(可调)
过程控制：plc人机界面自动与手动方式
清洗时间：1-6000秒钟可调
功率大小：10%-100%可调
内腔尺寸：直径150mm×270mm
外形尺寸：600mmx500x480mm
重量：45kg
真空泵：抽速4l/s
真空室温度：小于30°c
冷却方式：强制风冷
使用说明
（1、基座；2、夹头；3、针头；4、下压把手；5、调节螺栓；6、紧固旋钮7、机构组件）
操作步骤：
1）调整高度：
上下移动7机构组件，调节到适当位置，拧紧6紧固旋钮，实现初步高度定位，调节5调节螺栓，使3针头与2夹头保持合适距离；
2）安装针头：
顺时旋转2夹头，pdms脱泡器价格，取合适3针头放入2夹头中，逆时针旋转拧紧2夹头固定3针头，注意针头需垂直平面，过程如图所示。
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