su8模具制备流程
一、备片
从化学品存放区取出清洁的硅片(---硅片表面无尘)。
匀胶
1)打开匀胶机,将硅片放置在匀胶机托盘上,桌面光刻机,打开真空开关,---硅片固定在托盘上不动;

将su8光刻胶滴在硅片中间,根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。(举例说明:目标胶厚度50um,光刻胶型号:su8-2075,1段500转8s,2段1800转30s)
注射泵是一种基于步进电机作为驱动源,用于控制jing确液体流量和流速的装置。它通常由步进电机、泵头和控制器组成。步进电机提供了jing确的转速和位置控制,泵头用于推动液体流入管路,控制器则控制电机旋转的角度和速度。
注射泵具有以下特点:
1.---控制:步进电机可以非常精que地控制旋转角度和速度,从而实现---的流量和流速控制。
2.可编程控制:控制器可以通过编程方式设置电机旋转的脉冲数和频率,从而实现不同的流量和流速控制模式。
3.安quan---:步进电机驱动的注射泵通常具有多种安全保护措施,如过载保护、限位保护等,---设备的安quan---运行。
4.易于操作:步进电机驱动的注射泵通常具有友好的用户界面和操作系统,操作简单、方便。
5.应用范围广:步进电机驱动的注射泵适用于各种需要精que流量和流速控制的实验、生产和检测场合,如微流控技术、生物技术、化学实验等。
需要注意的是,步进电机驱动的注射泵相比于传统注射泵,价格较高,但是在需要---流量控制的应用场合中,其精度和可编程性优势---,得到了广泛的应用和---。
技术参数
---光源:紫外led
光源波长:365nm;
---面积:4英寸、6英寸可选;
---方式:单面接触式定时---;
---分辨率:2um;
---强度:20~200mw/cm2可调;
---不均匀性:≤5%;
光源平行性:≤2°;
光源寿命:***20000h;
电源输入:ac220v±10v,50hz
功率:250w
重量:25kg
外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)
工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %
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