微流控光刻机-顶旭微控

前烘

1）将涂布好su8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

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1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行---，---时间和强度根据su-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置---能量25mw/cm2，时间12s）

后烘

将---后的硅片放置在热板上，进行后---烘烤，以---光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未---部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

清洗

将显---的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

检查

使用显微镜检查制备的su-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和。

su8光刻机的价格因型号、配置和供应商而异。一般来说，价格在几千到几十万美元之间。一些的su8光刻机价格可能超过百万美元。需要注意的是，光刻机的价格不仅仅是机器本身的成本，还包括安装、调试、培训和维护等费用。此外，微流控光刻机，光刻机的价格还会受到汇率、关税和市场需求等因素的影响。因此，如果您需要了解具体的su8光刻机价格，建议您联系相关的供应商或销售商进行咨询。

su8光刻机定制流程如下：
1.明确需求，根据实际生产需要确定机型、精度等级和功能等。
2.提供物料清单，用于确---加工的金属和非金属材料种类。
3.将图纸文件发送给厂家进行报价评审。
4.根据终确定的方案签订合同并支付预付款，开始机器组装与调试。
5.项目完成且通过验收后付清尾款并将设备发运至地点。
6.在等待机床安装完毕并进行试产期间，可以安排---对客户提供的技术支持和服务人员进行现场培训。
7.在量产阶段提供smt及各组立配件供客户选择使用（如刀具、导轨磨损件等）。此外，也可以按照要求设计包装运输方式和物流方式以---安全抵达目的地。
以上内容仅供参考具体过程可能因实际情况而有所不同，建议咨询人士后再执行操作！

微流控光刻机-顶旭微控(图)由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。“微流控芯片定制，微流控芯片加工设备，微流控仪器，表面修饰”选择顶旭（苏州）微控技术有限公司，公司位于：苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园a栋a217室，多年来，顶旭坚持为客户提供好的服务，联系人：周经理。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。顶旭期待成为您的长期合作伙伴！
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