泰州桌面光刻机-顶旭微控

su8模具加工平台旨在为su8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用led光源，---分辨率可达2um，---均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，可---光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，桌面光刻机，可为su8模具提供充分的烘烤，从而提升su8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，su8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。su8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。

2、平台组成2.1 电子秤

量程：0.01~1000g精度0.01g方形托盘大小：16x18cm

2.2 脱泡器

材质：pc材料隔板直径：230mmyouzhi硅胶o型密封圈可维持高真空

2.3 pdms浇筑器

材质：铝合金真空吸附硅片规格：适合4寸及4寸以下su8模具或纯硅模具浇筑

2.4 烘箱

温度范围：10℃~300℃温度分辨率：0.1℃温度波动：±0.2℃内胆材料：不锈钢内部尺寸：35x35x35cm（长x深x高）外部尺寸：46x56x64cm（长x深x高）电源：220v功率：0.8kw2.5 pdms芯片打孔器介绍pdms芯片打孔器，借鉴了台钻的机械原理，并对he心结构进行了优化，使得该打孔设备在操作过程中表现更为稳定。它适用于制备各种软质微流控芯片（如pdms芯片、硅胶芯片等）的进样孔。可通过限位螺栓调整所需孔---（范围为0-20.0毫米），可更换不同内径针管（范围直径0.41-9.0毫米）控制进样孔尺寸。