宿迁匀胶机-顶旭苏州微控技术

技术参数

---光源：紫外led

光源波长：365nm;

---面积：4英寸、6英寸可选；

---方式：单面接触式定时---；

---分辨率：2um；

---强度：20~200mw/cm2可调；

---不均匀性：≤5%；

光源平行性：≤2°；

光源寿命：***20000h；

电源输入：ac220v±10v，匀胶机，50hz

功率：250w

重量：25kg

外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）

工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %

su8模具加工平台旨在为su8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用led光源，---分辨率可达2um，---均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，可---光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为su8模具提供充分的烘烤，从而提升su8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，su8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。su8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。