台州显影机-顶旭微控技术有限公司

su8模具制备流程

一、备片

从化学品存放区取出清洁的硅片（---硅片表面无尘）。

匀胶

1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，---硅片固定在托盘上不动；

将su8光刻胶滴在硅片中间，显影机，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：su8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）

1、简要介绍

pdms芯片加工平台旨在为pdms芯片制备提供一套gao效、quan面的解决方案。该平台集成了电子秤、pdms芯片浇筑器、烘箱、pdms芯片打孔器、pdms芯片切割器、pdms芯片对准器以及pdms等离子键合机等pdms芯片加工设备。电子秤---pdms材料的jing确配比，为芯片制备提供了---的基础。pdms浇筑器以其zhuan业的设计，使pdms材料均匀浇筑于模具上，为芯片成型提供了支撑。烘箱提供稳定的温度控制，---pdms材料的充分固化。pdms打孔器和切割器---了jing准的孔洞和结构制作，提供了更高的加工精度。pdms对准器则实现了多层结构的jing确对准，增强了制作多层pdms芯片的能力。而等离子键合机则实现pdms了的牢固粘合。加工平台的紧凑设计使得普通实验室也可轻松部署，有助于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的研究和应用提供了便捷而---的支持。