2 pdms芯片制备
pdms芯片制备采用软光刻技术,pdms芯片,从芯片模具(硅模具、su8模具、pfct模具、亚克力模具、金属模具)上fu制反向结构,此方法可以容易地fu制特征尺寸小于0.1um的结构,同时,通过等离子体表面处理,pdms可以和pdms本身、玻璃、硅进行键合,形成密闭流道。
2.1 配胶
pdms胶水为双组分,分为a胶和b胶,使用电子秤,配比重量为10:(0.9~1),a胶和b胶的配比越大,胶体凝固后越软。
2.2 匀胶、除泡
将a胶、b胶充分搅拌,放入真空斧中,真空环境中静止时间约30分钟,待气泡除尽后取出待用。
2.3 浇筑模具
pdms模塑法可采用的模具有硅模具、su8模具、pefect模具、亚克力模具、金属模具,将模具清理干净后,将pdms浇筑到模具中,放入恒温干燥箱中85℃静置30到40分钟。
2.4 剥胶
模具稍冷却后,将固化后的微流控pdms芯片与模具分离,注意不用损坏模具、微流控pdms芯片结构。
2.5 切割
采用zhuan用pdms芯片切割器或者美工刀,沿着芯片边框进行切割,保持边缘整齐即可。
2.6 打孔
采用pdms芯片打孔器给微流控pdms芯片进行打孔,并用胶带纸对微流控pdms芯片进行清理
2.7 键合
采用等离子清洗机处理衬底(pdms、玻璃)、pdms芯片表面,键合功率80~90w,时间20~30s(不同等离子体处理的射频功率和时间长度有所差异),取出后,30s内进行贴合,放置在80度温箱中30分钟左右即可。
微流控芯片是一种微型化流体器件,主要用于生物、化学和等领域。它通常由一个或多个通道组成,这些通道可以在数平方毫米到数十立方厘米的面积上集成多种功能元件(如反应室、分离器等)。通过控制液体流动和控制各种物理性质的方法来实现样品制备和分析等功能。
与传统实验室设备相比,这类系统具有体积小、易操作,可实现高通量分析的优势。此外,它还可以与一些新技术结合使用(如分子生物学技术)以提高检测灵敏度和效率;在药物开发中可对复杂样本进行处理并完成筛选等任务;还可用于环境监测领域以实时在线监控污染源等应用场景的实现。

1 玻璃芯片材料
1.1光学玻璃
b270,易于加工,具有---的耐化学性和光学特性,常用于科学仪器、眼镜和显微镜。
1.2石英玻璃
具有低热膨胀系数、耐化学性强、耐高温(zui高可达 900oc) 、具有优异的光学性能,如均匀性和高紫外线透射率,适用于微流体流动池、微反应器和紫外分光光度法检测的微流控芯片。石英玻璃 也比其他类型的玻璃更能抵抗热冲击。
1.3 硼硅玻璃
d263 和 borofloat 33,提供了一种非常---和灵活的材料,可以抵抗ji端温度以及许多强化学物质,包括酸、盐溶ye、氯、氧化 和腐蚀性化学品。常见应用包括---镜头、实验室设备和 ---容器。

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