安装pdms模具的步骤如下：
1.确定好模型位置，并做好标记。
2.将整个模板组装起来校对所有部件的位置尺寸是否正确。如果发现错误需要重新调整并且要做好记号防止二次出错。将所有的螺丝锁住---拼装结构牢固不会出现晃动现象即可完成安装工作。注意在---的前提下尽量减轻重量以便于搬运使用；同时为了方便每个分区的拆卸和移动可以在分区连接处增加活动余地避免因为固定过死造成不便。此外为了避免加工误差累积影响终精度要按照设计单元进行统一加工处理然后再依次装配各个零件以求得的数据结果。用扫描件报送给审图公司审核后出正式蓝图供生产制造预制构件。。只有通过培训的人员才能准确、快速地进行此类操作。希望以上信息对您有帮助！
su-8光刻胶模具开发
显影是在溶剂中稀释未连接的 su-8 光刻胶的步骤。在这一步，设计在基板上显露出来。su-8 的开发要归功于 su-8 开发人员。它是microchem的产品，主要由pgmea（bing二醇单jia醚乙suan酯）组成，但由于乳酸---或---ing酮醇，您也可以开发su-8。将您的晶圆放入装有 50ml 显影液的结晶器中。su-8 开发的时间取决于 1 分钟到 15 分钟以上的层厚度。在开发过程中保持---的搅拌，以达到zui佳的开发效果。用异bing醇冲洗晶圆。如果仍有一些白色痕迹，请在 1-2 分钟内再次显影。如果再次残留，则更换溶液并使用 50ml 新显影剂 1-2 分钟。擦干的晶圆。
uv---过程
---的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 pac（photoactiv 组件）来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性，纯硅模具，树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于su-8是负性光刻胶，这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬，而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数：
su-8的---波长为365nm。
时间取决于层厚和灯的功率。
接触模式很重要，如果没有硬接触，您可能会失去一些分辨率，而使用真空接触，您可能会将晶圆粘在掩模上。
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