湖州su8模具-顶旭苏州微控技术

uv---过程

---的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 pac（photoactiv 组件）来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性，树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于su-8是负性光刻胶，这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬，而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数：

su-8的---波长为365nm。

时间取决于层厚和灯的功率。

接触模式很重要，如果没有硬接触，您可能会失去一些分辨率，而使用真空接触，您可能会将晶圆粘在掩模上。

检查措施

在这一步su-8模具已经完成，但我们必须检查它是否符合我们的期望。为此，您必须在显微镜下观察它以进行第yi次目视检查。然后您可以使用光学或机械轮廓仪来测量层的---。

su8模具特点

1）利用光刻工艺，可实现微米级别特征图案的制备

2）模具机械强度强

3）实现结构的大深宽比

顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累，持续将zhuan业知识与---思维相结合，为客户提供gao品质的解决方案。我们将始终坚持以客户为中心，不断挑战自我，通过---和合作，为客户创造的价值，共同kai创微流控领域的美好未来。