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环氧树脂su-8---后烘烤（光刻胶的二次烘烤）

第二次光刻胶烘烤称为 peb（---后烘烤）。顾名思义，它是在紫外线照射后完成的。紫外线照射ji活了 su-8 光刻胶中的光敏成分，pdms模具光刻，但它需要能量来继续反应；这种烘焙带来了能量。至于软烘烤，有问题的一点是 su-8 光刻胶内部的机械应力，山西pdms模具，因此必须稍微加热和冷却以尽可能减少这种应力。

加热模式与软烘烤相同，第yi个平台是 65°c，然后第二个平台是 95°c，每个平台的时间取决于 su-8 光刻胶层的厚度。

在继续该过程之前，pdms模具介绍，请---您的晶圆处于室温。

su8模具多少钱

su8模具的价格会受到不同因素影响，如品牌、型号和等。一般来说，中档品牌的su8模具价格在150到400元之间不等---*（不包括材料费用）。具体购买时可能还会因购买的款式和数量等因素产生附加的运费或其他成本。。建议直接联系厂商获取准确的信息。

uv---过程

---的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 pac（photoactiv 组件）来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性，pdms模具价格，树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于su-8是负性光刻胶，这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬，而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数：

su-8的---波长为365nm。

时间取决于层厚和灯的功率。

接触模式很重要，如果没有硬接触，您可能会失去一些分辨率，而使用真空接触，您可能会将晶圆粘在掩模上。

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