环氧树脂su-8---后烘烤(光刻胶的二次烘烤)
第二次光刻胶烘烤称为 peb(---后烘烤)。顾名思义,它是在紫外线照射后完成的。紫外线照射ji活了 su-8 光刻胶中的光敏成分,但它需要能量来继续反应;这种烘焙带来了能量。至于软烘烤,有问题的一点是 su-8 光刻胶内部的机械应力,因此必须稍微加热和冷却以尽可能减少这种应力。
加热模式与软烘烤相同,四川su8模具,第yi个平台是 65°c,然后第二个平台是 95°c,su8模具介绍,每个平台的时间取决于 su-8 光刻胶层的厚度。
在继续该过程之前,su8模具企业,请---您的晶圆处于室温。
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