负性su-8光刻胶旋涂
为了创建稍后将成为模具的光刻胶层,pdms模具,我们使用匀胶机进行旋涂,旋转速度、加速度和 su-8 光刻胶粘度将决定 su-8 光刻胶层的厚度。
要成功执行此步骤,必须采取一些预防措施:---您的旋涂机完全平整。将晶圆尽可能居中放置在旋涂机卡盘上,以获得ziui佳的涂层分布。出于与晶片相同的原因,将您的光刻胶尽可能地居中。分两步涂覆 su-8 光刻胶,一个在 10 到 30 秒内以低速和低加速度将光刻胶涂抹在基板上,pdms模具光刻,然后在 30 到 60 秒内以高速和加速第二步以控制层厚度。使用微量移液器分配光刻胶以控制使用的 su-8 光刻胶数量。
pdms模具的价格因多个因素而异,包括模具的大小、复杂性、所需材料和制造过程等。一般来说,pdms模具的价格在几千到几万美元之间。对于较小和简单的模具,价格可能在几千美元左右,而对于较大和复杂的模具,价格可能在几万美元以上。此外,模具的维护和修理成本也需要考虑在内。

外观结构1、具有一定透明度,可透光检查模具效果及内部结构;
2、外形可与硅片类似,成圆形,上下平整,有切边。模具优点1、不用做疏水处理,脱模简单
2、不易碎裂
3、表面易清洁,可重复使用
顶旭微控提供pdms芯片模具定制加工服务,可提供纯硅模具,su8模具,亚克力模具,树脂模具。纯硅模具,深刻比大,精度高;su8模具,台州pdms模具,采用光刻工艺,zui小线宽5um,深宽比zui大2:1;亚克力模具,适合大于0.1mm的流道。顶旭微控,拥有he心技术,多年加工经验,效率gao,承接科研定制,企业小批量、大批量定制。
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