su8模具安装步骤如下：
1.准备好su8模具和安装工具，包括螺丝刀、扳手等。
2.将su8模具放置在安装基座上，---模具与基座的接触面平整。
3.使用螺丝刀或扳手将模具固定在基座上，pdms模具要求，---模具不会在使用过程中松动。
4.检查模具的安装位置是否正确，---模具能够正常工作。
5.如果需要，可以使用调整工具调整模具的位置和角度，pdms模具规格，以满足使用需求。
6.安装完成后，进行试运行，检查模具是否正常工作，如有问题及时调整。
注意：在安装过程中，要避免用力过猛，以免损坏模具或基座。同时，也要注意安全，避免发生意外伤害。
uv---过程
---的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 pac（photoactiv 组件）来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性，衢州pdms模具，树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于su-8是负性光刻胶，pdms模具制作，这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬，而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数：
su-8的---波长为365nm。
时间取决于层厚和灯的功率。
接触模式很重要，如果没有硬接触，您可能会失去一些分辨率，而使用真空接触，您可能会将晶圆粘在掩模上。
环氧树脂su-8---后烘烤（光刻胶的二次烘烤）
第二次光刻胶烘烤称为 peb（---后烘烤）。顾名思义，它是在紫外线照射后完成的。紫外线照射ji活了 su-8 光刻胶中的光敏成分，但它需要能量来继续反应；这种烘焙带来了能量。至于软烘烤，有问题的一点是 su-8 光刻胶内部的机械应力，因此必须稍微加热和冷却以尽可能减少这种应力。
加热模式与软烘烤相同，第yi个平台是 65°c，然后第二个平台是 95°c，每个平台的时间取决于 su-8 光刻胶层的厚度。
在继续该过程之前，请---您的晶圆处于室温。
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