su8光刻机-顶旭-嘉兴su8光刻机

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    2024-4-8

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su8模具制备流程


1.备片

从化学品存放区取出清洁的硅片(---硅片表面无尘)。





2.匀胶

1)打开匀胶机,将硅片放置在匀胶机托盘上,打开真空开关,---硅片固定在托盘上不动;





2)将su8光刻胶滴在硅片中间,根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。(举例说明:目标胶厚度50um,光刻胶型号:su8-2075,1段500转8s,2段1800转30s)







3.前烘

1)将涂布好su8光刻胶的硅片放置在热板上,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有机溶ji,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um ,设置温度65℃,烘烤15min,然后温度95度,烘烤15分钟)






4.---

1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行---,---时间和强度根据su-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置---能量25mw/cm2,su8光刻机,时间12s)





微流控芯片加工设备: 提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖su8模具加工、pdms芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,su8光刻机企业,从而提高实验效率和灵活性。







su8模具制备流程

1.后烘

将---后的硅片放置在热板上,进行后---烘烤,以---光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)





2.显影

将硅片放入显影剂中,使未---部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)




3.清洗

将显---的硅片用---chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。

4.检查

使用显微镜检查制备的su-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和。

顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案


显微镜






观察头:铰链式三目观察头,30°倾斜,瞳距48~75mm目镜:---视野目镜 10x/22无xian远平场消色差物镜:4x/0.1,10x/0.25,20x/0.4,su8光刻机,40x/0.65转化器:四孔转换器载物台:载物台面积300×268mm,嘉兴su8光刻机,移动范围250×250mm焦距调节:同轴粗微动调焦机构,行程24mm照明系统 :6v20w卤素灯,亮度可调滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片

微流控芯片加工设备: 提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖su8模具加工、pdms芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,从而提高实验效率和灵活性。


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