微流控光刻机设计-顶旭-辽宁微流控光刻机

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    2024-5-24

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su8模具制备流程

1.后烘

将---后的硅片放置在热板上,微流控光刻机设计,进行后---烘烤,以---光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)





2.显影

将硅片放入显影剂中,使未---部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)




3.清洗

将显---的硅片用---chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。

4.检查

使用显微镜检查制备的su-8模具,辽宁微流控光刻机,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和。

顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案


热板





温度:0~300℃温度稳定性:±1℃功率:850w台面大小:200x200mm

公司团队拥有丰富的经验和技术积累,持续将专ye知识与---思维相结合,为客户提供高品pin质的解决方案。我们将始终坚持以客户为中心,微流控光刻机介绍,不断挑战自我,不断追求卓yue,通过专ye、---和合作,为客户创造的价值,共同kai创微流控领域的美好未来。


耗材

光刻掩膜板


菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构,通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单,适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而,由于其分辨率有限,无法满足制备细致微结构的需求。因此,对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构,菲林掩膜板是一个合适的选择。

玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构,以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺复杂,微流控光刻机怎么样,但由于其高分辨率,能够实现更细致、更精que的微结构。---是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下,玻璃掩膜板具有明显优势。

在选择掩膜板类型时,应根据所需制备的图案特性、线条宽度以及对制备精度和复杂度的要求进行权衡。菲林掩膜板适用于相对简单的结构,而玻璃掩膜板则更适合制备更细致和复杂的微结构。综合考虑制备目标和技术要求,选择适当的掩膜板类型将有助于---制备过程的成功和效率。





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