桌面光刻机企业-吉林桌面光刻机-顶旭苏州微控技术

1、简要介绍

pdms芯片加工平台旨在为pdms芯片制备提供一套gao效、quan面的解决方案。该平台集成了电子秤、pdms芯片浇筑器、烘箱、pdms芯片打孔器、pdms芯片切割器、pdms芯片对准器以及pdms等离子键合机等pdms芯片加工设备。电子秤---pdms材料的jing确配比，为芯片制备提供了---的基础。pdms浇筑器以其zhuan业的设计，使pdms材料均匀浇筑于模具上，为芯片成型提供了支撑。烘箱提供稳定的温度控制，---pdms材料的充分固化。pdms打孔器和切割器---了jing准的孔洞和结构制作，桌面光刻机企业，提供了更高的加工精度。pdms对准器则实现了多层结构的jing确对准，增强了制作多层pdms芯片的能力。而等离子键合机则实现pdms了的牢固粘合。加工平台的紧凑设计使得普通实验室也可轻松部署，有助于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的研究和应用提供了便捷而---的支持。

前烘

1）将涂布好su8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，吉林桌面光刻机，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

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1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行---，---时间和强度根据su-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置---能量25mw/cm2，时间12s）

后烘

将---后的硅片放置在热板上，进行后---烘烤，以---光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，桌面光刻机价格，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未---部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

清洗

将显---的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

检查

使用显微镜检查制备的su-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和。