台湾su8模具加工设备-顶旭(商家)

su8模具制备流程

1.备片

从化学品存放区取出清洁的硅片（---硅片表面无尘）。

2.匀胶

1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，---硅片固定在托盘上不动；

2）将su8光刻胶滴在硅片中间，台湾su8模具加工设备，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：su8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）

3.前烘

1）将涂布好su8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有机溶ji，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

4.---

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行---，---时间和强度根据su-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置---能量25mw/cm2，时间12s）

微流控芯片加工设备： 提供丰富多样的微流控芯片加工设备，涵盖su8模具加工、pdms芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作，从而提高实验效率和灵活性。

桌面光刻机

---光源：紫外led光源波长：365nm;---面积：4英寸、6英寸可选；---方式：单面接触式定时---；---分辨率：2um；---强度：20~200mw/cm2可调；---不均匀性：≤5%；光源平行性：≤2°；光源寿命：***20000h；电源输入：ac220v±10v，50hz功率：250w重量：25kg外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %