玻璃微流控芯片-顶旭-西藏自治玻璃微流控芯片

1 玻璃芯片材料

1.1光学玻璃

b270，玻璃微流控芯片，易于加工，具有---的耐化学性和光学特性，常用于科学仪器、眼镜和显微镜。

1.2石英玻璃

具有低热膨胀系数、耐化学性强、耐高温（zui高可达 900oc) 、具有优异的光学性能，如均匀性和高紫外线透射率，适用于微流体流动池、微反应器和紫外分光光度法检测的微流控芯片。石英玻璃 也比其他类型的玻璃更能抵抗热冲击。

1.3 硼硅玻璃

d263 和 borofloat 33，提供了一种非常---和灵活的材料，玻璃微流控芯片，可以抵抗ji端温度以及许多强化学物质，包括酸、盐溶ye、氯、氧化 和腐蚀性化学品。常见应用包括---镜头、实验室设备和 ---容器。

玻璃微流控芯片如何定制

玻璃微流控芯片是一种微小的玻璃芯片，西藏自治玻璃微流控芯片，可以用于控制和测量微小的液体流体。要定制玻璃微流控芯片，首先需要设计芯片的布局和结构，包括通道、腔室、阀门和其他---的组件。然后，使用光刻和蚀刻技术在玻璃上制作出所需的结构。，通过热压或其他方法将芯片密封，以防止液体泄漏。整个过程需要高度和复杂的工艺，因此通常由的微流控芯片制造商完成。

1.4 玻璃和聚合物材料对比

2 加工方式2.1 湿法腐蚀流道---20um以上加工xiao率高，深宽比2:1以上。

玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、---、显影、腐蚀、去胶等步骤，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向---，玻璃微流控芯片清洗，目前，微流道玻璃芯片zui长用的是玻璃的湿法腐蚀。

玻璃湿法腐蚀流程：

2.2 激光加工

皮秒激光加工，流道线宽200um以上，精度要求低。

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