su8模具加工平台旨在为su8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用led光源，---分辨率可达2um，---均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，匀胶机，转速达10000转，可---光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为su8模具提供充分的烘烤，从而提升su8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，su8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。su8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。
使用方法
该设备操作简单，易于上手，具体操作如下：
一、---前准备工作
1、硅片处理：---待---硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查：仔细检查设备，---所有部件处于正常工作状态，---操作环境---。
二、---操作步骤
1、安装硅片：将待---硅片平放在设备的载台上，---位置准确。
2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定---参数：使用控制面板设置---时间和强度，根据具体需求进行调整。
技术参数
---光源：紫外led
光源波长：365nm;
---面积：4英寸、6英寸可选；
---方式：单面接触式定时---；
---分辨率：2um；
---强度：20~200mw/cm2可调；
---不均匀性：≤5%；
光源平行性：≤2°；
光源寿命：***20000h；
电源输入：ac220v±10v，50hz
功率：250w
重量：25kg
外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）
工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %
顶旭微控技术有限公司-四川匀胶机由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。顶旭（苏州）微控技术有限公司是江苏 苏州 ,生物制品的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、---发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在顶旭---携全体员工热情欢迎---垂询洽谈，共创顶旭美好的未来。
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