顶旭微控技术有限公司-淮安pdms流道

2 pdms芯片制备

pdms芯片制备采用软光刻技术，从芯片模具（硅模具、su8模具、pfct模具、亚克力模具、金属模具）上fu制反向结构，此方法可以容易地fu制特征尺寸小于0.1um的结构，同时，通过等离子体表面处理，pdms可以和pdms本身、玻璃、硅进行键合，形成密闭流道。

2.1 配胶

pdms胶水为双组分，分为a胶和b胶，使用电子秤，配比重量为10：（0.9~1），a胶和b胶的配比越大，胶体凝固后越软。

2.2 匀胶、除泡

将a胶、b胶充分搅拌，放入真空斧中，真空环境中静止时间约30分钟，待气泡除尽后取出待用。

2.3 浇筑模具

pdms模塑法可采用的模具有硅模具、su8模具、pefect模具、亚克力模具、金属模具，将模具清理干净后，将pdms浇筑到模具中，放入恒温干燥箱中85℃静置30到40分钟。

2.4 剥胶

模具稍冷却后，将固化后的微流控pdms芯片与模具分离，注意不用损坏模具、微流控pdms芯片结构。

2.5 切割

采用zhuan用pdms芯片切割器或者美工刀，沿着芯片边框进行切割，保持边缘整齐即可。

2.6 打孔

采用pdms芯片打孔器给微流控pdms芯片进行打孔，并用胶带纸对微流控pdms芯片进行清理

2.7 键合

采用等离子清洗机处理衬底（pdms、玻璃）、pdms芯片表面，键合功率80~90w，时间20~30s（不同等离子体处理的射频功率和时间长度有所差异），取出后，30s内进行贴合，放置在80度温箱中30分钟左右即可。

常用的pdms材料

常用的pdms有两种，一种是迈图的pdms rtv-615，一种是道康宁 pdms sylgard 184 。这两种材料的成分目前还属于---，不被外人所知，pdms流道，根据多年的经验，可以给出选择如何选用pdms的一些建议：

迈图pdms rtv-615：

1）制备微阀的sho选；

2）坚固，键合力强，---于多层键合的芯片；

3）不耐脏，易脏。

道康宁pdms sylgard 184

1）较为清洁

2）适用于单层键合，不适合多层键合

3）多用于细胞培养、人ti器guan芯片