3. su8模具制备流程
一、备片
从化学品存放区取出清洁的硅片（---硅片表面无尘）。
匀胶
1）打开匀胶机，匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，---硅片固定在托盘上不动；
将su8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：su8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）
4.3 光刻胶su-8是一种常用的负性光刻胶，通常由环氧树脂和光敏剂组成，它具有许多优点，使其在制备微结构和器件方面成为理想的选择：高分辨率：su-8光刻胶具有---的分辨率，可以制备细致的微结构，适合制作小尺寸线条和微细图案。粘附性强：su-8光刻胶在许多基片表---有---的粘附性，可以在不同材料上制备微结构。厚度可调：su-8光刻胶可以通过多次涂覆和光刻来控制厚度，适用于制备不同厚度的微结构。化学稳定性：su-8光刻胶具有较高的化学稳定性，可以耐受许多溶剂和化学物质，适用于各种应用环境。热稳定性：su-8光刻胶在高温下具有较好的稳定性，适用于需要高温处理的制备过程。多层光刻：su-8光刻胶可用于多层光刻制备，能够实现更复杂的微结构和器件。应用广泛：su-8光刻胶在微流体器件、生物芯片、mems、光学器件等多个领域中得到广泛应用。
顶旭桌面微型光刻机，专为微米级图案制作而设计，旨在保障zhuo越的图形转移精度。设备采用紫外led冷光源，结合双非球面石英透镜，可生成半角＜2°的平行光，相较传统接触式---机，其ji致紧凑的体积将移形换影置于桌面之上，为操作提供了便利与jing准。
该光刻机广泛适用于微流控芯片、mems器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐，顶旭桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力，助力客户在项目目标的实现过程中迈向更---、更具---性的阶段。
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