su8模具加工平台旨在为su8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，微流控光刻机，采用led光源，---分辨率可达2um，---均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，可---光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为su8模具提供充分的烘烤，从而提升su8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，su8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。su8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。
1、简要介绍
pdms芯片加工平台旨在为pdms芯片制备提供一套gao效、quan面的解决方案。该平台集成了电子秤、pdms芯片浇筑器、烘箱、pdms芯片打孔器、pdms芯片切割器、pdms芯片对准器以及pdms等离子键合机等pdms芯片加工设备。电子秤---pdms材料的jing确配比，为芯片制备提供了---的基础。pdms浇筑器以其zhuan业的设计，使pdms材料均匀浇筑于模具上，为芯片成型提供了支撑。烘箱提供稳定的温度控制，---pdms材料的充分固化。pdms打孔器和切割器---了jing准的孔洞和结构制作，提供了更高的加工精度。pdms对准器则实现了多层结构的jing确对准，增强了制作多层pdms芯片的能力。而等离子键合机则实现pdms了的牢固粘合。加工平台的紧凑设计使得普通实验室也可轻松部署，有助于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的研究和应用提供了便捷而---的支持。
技术参数
---光源：紫外led
光源波长：365nm;
---面积：4英寸、6英寸可选；
---方式：单面接触式定时---；
---分辨率：2um；
---强度：20~200mw/cm2可调；
---不均匀性：≤5%；
光源平行性：≤2°；
光源寿命：***20000h；
电源输入：ac220v±10v，50hz
功率：250w
重量：25kg
外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）
工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %
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