微流控pdms芯片-顶旭(商家)

常用的pdms材料

常用的pdms有两种，一种是迈图的pdms rtv-615，一种是道康宁 pdms sylgard 184 。这两种材料的成分目前还属于---，不被外人所知，根据多年的经验，可以给出选择如何选用pdms的一些建议：

迈图pdms rtv-615：

1）制备微阀的sho选；

2）坚固，键合力强，---于多层键合的芯片；

3）不耐脏，易脏。

道康宁pdms sylgard 184

1）较为清洁

2）适用于单层键合，不适合多层键合

3）多用于细胞培养、人ti器guan芯片

1.4 玻璃和聚合物材料对比

2 加工方式2.1 湿法腐蚀流道---20um以上加工xiao率高，深宽比2:1以上。

玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、---、显影、腐蚀、去胶等步骤，微流控pdms芯片，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向---，目前，微流道玻璃芯片zui长用的是玻璃的湿法腐蚀。

玻璃湿法腐蚀流程：

2.2 激光加工

皮秒激光加工，流道线宽200um以上，精度要求低。