su8模具制备流程
1.后烘
将---后的硅片放置在热板上,进行后---烘烤,以---光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,桌面光刻机优势,烘烤7min,然后温度95℃,桌面光刻机,烘烤3min)
2.显影
将硅片放入显影剂中,使未---部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)
3.清洗
将显---的硅片用---chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
4.检查
使用显微镜检查制备的su-8模具,新疆维吾尔自治桌面光刻机,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和。
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案
装箱清单
1、桌面微型紫外光刻机主机 1台
2、匀胶机 1台
3、热板 2台
4、数显测厚规(千分款) 1只
5、显微镜 1台 (选配)
6、耗材:硅片、掩膜版、su8光刻胶 (需额外购买)
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数显测厚规(千分款)
测量匀胶厚度量程:0~10mm
精度:0.001mm
公差:≤±0.005mm
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。不断追求卓yue,通过专ye、---和合作,为客户创造的价值,共同kai创微流控领域的美好未来。
桌面光刻机优势-顶旭微控技术-新疆维吾尔自治桌面光刻机由顶旭(苏州)微控技术有限公司提供。顶旭(苏州)微控技术有限公司为客户提供“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”等业务,公司拥有“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”等品牌,---于生物制品等行业。,在苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园a栋a217室的名声---。欢迎来电垂询,联系人:周经理。
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